[实用新型]一种用在真空镀膜设备上的带侧旋转功能的镀带锯装置有效

专利信息
申请号: 202121388211.9 申请日: 2021-06-22
公开(公告)号: CN215103497U 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 王英智;郭喜明;王开亮;吴迪 申请(专利权)人: 沈阳乐贝真空技术有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/50;C23C14/56
代理公司: 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 代理人: 王荣亮
地址: 110135 辽宁省沈阳市*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种用在真空镀膜设备上的带侧旋转功能的镀带锯装置,解决现有技术存在的厚度较薄的长带锯难以进行表面涂层,无法保证齿面涂层厚度的均匀性,影响带锯使用效果的问题。包括设置在真空室底部的转动主轴,其特征在于:转动主轴的一端与驱动电机相连,转动主轴另一端的大转盘上侧,转动设置有若干组竖向布置的自旋转轴,自旋转轴上端的侧旋转固定架上,分别设置有沿同一圆周、径向水平布置的侧旋转轴,侧旋转轴分别通过传动锥齿轮与对应的自旋转轴相连,侧旋转轴前端分别设置有带锯片工装。其设计合理,结构紧凑,能够对带锯进行齿面的硬质涂层沉积,有效确保涂层厚度的均匀性,提升带锯的使用寿命,便于装卸工件,生产效率高,实用性强。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 设备 旋转 功能 带锯 装置
【主权项】:
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