[实用新型]一种用在真空镀膜设备上的带侧旋转功能的镀带锯装置有效
| 申请号: | 202121388211.9 | 申请日: | 2021-06-22 |
| 公开(公告)号: | CN215103497U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
| 发明(设计)人: | 王英智;郭喜明;王开亮;吴迪 | 申请(专利权)人: | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 王荣亮 |
| 地址: | 110135 辽宁省沈阳市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | 一种用在真空镀膜设备上的带侧旋转功能的镀带锯装置,解决现有技术存在的厚度较薄的长带锯难以进行表面涂层,无法保证齿面涂层厚度的均匀性,影响带锯使用效果的问题。包括设置在真空室底部的转动主轴,其特征在于:转动主轴的一端与驱动电机相连,转动主轴另一端的大转盘上侧,转动设置有若干组竖向布置的自旋转轴,自旋转轴上端的侧旋转固定架上,分别设置有沿同一圆周、径向水平布置的侧旋转轴,侧旋转轴分别通过传动锥齿轮与对应的自旋转轴相连,侧旋转轴前端分别设置有带锯片工装。其设计合理,结构紧凑,能够对带锯进行齿面的硬质涂层沉积,有效确保涂层厚度的均匀性,提升带锯的使用寿命,便于装卸工件,生产效率高,实用性强。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 真空镀膜 设备 旋转 功能 带锯 装置 | ||
【主权项】:
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