[实用新型]花篮硅片用固定式精确分片装置

摘要

本实用新型涉及硅片分片设备技术领域，尤其是涉及一种花篮硅片用固定式精确分片装置，包括载板以及安装在载板顶面的两个固定夹，两个所述固定夹之间安装有推进装置以及带有卡槽的实验花篮和分片花篮，所述实验花篮位于分片花篮左侧，所述固定支架位于分片花篮右侧，且所述实验花篮的卡槽槽口和分片花篮的卡槽槽口相对布置，所述推进装置包括筛选模具、把手和若干推进杆，所述筛选模具可拆卸安装在固定夹之间，所述筛选模具上间隔开设有同于供部分或全部推进杆穿过的若干筛选孔，所述推进杆活动安装在把手上，所述推进杆穿过其所对应的筛选孔，通过将推进杆活动安装在把手上，能够一次性推动全部硅片，大大提高了转移效率。