[实用新型]一种石墨舟装卸片机用石墨舟有效
| 申请号： | 202121365514.9 | 申请日： | 2021-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN215183883U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 何军 | 申请（专利权）人： | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;B08B5/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214116 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种石墨舟装卸片机用石墨舟，涉及石墨舟技术领域，解决了现有的石墨舟在实际应用时存在着无法在对石墨装卸片的插入及提起过程中对石墨舟起到良好的防护作用，进而存在着使用缺陷的问题，包括支撑机构，所述支撑机构的主体为梯形结构设计，本实用新型中，由于设置有支撑机构，两处支撑架的内侧还安装有连接板，在支撑架的内部顶端还设置有三角形的清洁组件，在清洁组件的下方还设置有吸入扇，可与承载组件内部底端所开设的排尘孔形成配合，对隔片及其内部的杂物进行吸出，进而达到更加实用的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 装卸 片机用 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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