[实用新型]一种用于溅射机的耐高温钼舟有效

专利信息
申请号: 202121336374.2 申请日: 2021-06-16
公开(公告)号: CN215251120U 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 宫秀明;曾桂阳;王久文 申请(专利权)人: 东莞泰岳光学镀膜材料有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/34
代理公司: 东莞市永邦知识产权代理事务所(普通合伙) 44474 代理人: 陈保江
地址: 523000 广东省东莞市长安镇*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种用于溅射机的耐高温钼舟,包括钼舟本体;通过在钼舟本体的两侧均设置有侧板,侧板的外侧固定连接有第一加强筋,第一加强筋的外侧固定连接有第二加强筋,能有效增加钼舟本体整体的抗弯性能,保证钼舟长期使用后不会产生变形和扭曲,降低生产成本,通过在钼舟本体的两侧均设置有侧安装板,侧安装板的两侧均固定连接有安装架,安装架的内侧均匀设置有第二安装孔,第二安装孔的内侧设置有紧固螺栓,侧安装板通过紧固螺栓固定连接于钼舟本体的两侧,同时侧安装板的内侧设置有第三加强筋,通过上述设置,进一步增强了钼舟本体整体的抗弯性能,本装置结构简单,安装方便,便于拆卸。
搜索关键词: 一种 用于 溅射 耐高温
【主权项】:
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