[实用新型]一种旋转靶材的支撑结构有效
| 申请号： | 202121333994.0 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN214919053U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;刘昊林 | 申请（专利权）人： | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种旋转靶材的支撑结构，所述支撑结构包括分别设置于法兰端和帽端底部的支撑转轮；两个所述支撑转轮的结构和尺寸均相同；所述支撑结构还包括设置于帽端远离法兰端一侧的夹具；所述支撑结构能够避免溅射面与转轮接触形成压痕、压伤，而且辅助在帽端设置夹具，能够有效避免旋转靶材在旋转过程中的掉落，提高了旋转靶材清洗等操作时的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 支撑 结构 | ||
【主权项】：
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