[实用新型]遮蔽装置以及PVD真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202121314753.1 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN215404471U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李时俊;王志民;黎佐兴 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 林明校 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了遮蔽装置以及PVD真空镀膜设备，其中遮蔽装置设置在PVD真空镀膜设备的镀膜腔内，包括：至少一个安装件，在所述镀膜腔内被固定，所述安装件上设置有第一槽部；至少一个遮蔽板，所述遮蔽板可滑动地插入所述第一槽部内并被所述第一槽部保持，或者从所述第一槽部内被抽出。根据本实用新型第一方面的遮蔽装置，至少具有如下有益效果：能够快速拆装遮蔽板。 | ||
| 搜索关键词： | 遮蔽 装置 以及 pvd 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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