[实用新型]一种旋涂仪托盘及旋涂仪

摘要

本申请提供一种旋涂仪托盘及旋涂仪，涉及薄膜制备的技术领域。旋涂仪托盘，包括空心圆柱体以及安装在空心位置处用于装载基片的载片台，所述载片台中间开设有贯通孔，所述空心圆柱体的上端部沿周向均匀间隔开设有3个导向槽，所述导向槽内安装有卡爪，所述卡爪底部设置有螺纹，所述空心圆柱体的下端部开设有环形安装槽，所述环形安装槽与所述导向槽贯通，所述环形安装槽内安装有与所述卡爪的螺纹啮合的等距螺旋槽，所述等距螺旋槽转动使得与所述等距螺旋槽啮合的3个所述卡爪同时靠近或远离所述载片台。本申请提供的旋涂仪托盘及旋涂仪，利用卡爪实现基片的自动对心以及卡紧作用，与真空吸附机构一起提高基片在旋转过程中的稳定性。