[实用新型]一种具有吸尘功能的石英片抛光装置有效
申请号: | 202121287985.2 | 申请日: | 2021-06-09 |
公开(公告)号: | CN215789005U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 李长坤;谢永奕;王永 | 申请(专利权)人: | 广东硅峰半导体材料有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/22;B24B55/06 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 张国栋 |
地址: | 529000 广东省江门市江*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及抛光技术领域,且公开了一种具有吸尘功能的石英片抛光装置,包括底座,所述底座的顶部固定安装有工作台。该具有吸尘功能的石英片抛光装置,通过在石英片进行抛光的时候,将其放置的硅胶板上,硅胶板上也开设有气孔且与工作台上的气孔相对应,在真空泵工作的时候,真空箱形成真空状态,此时石英片在大气压强的作用下吸附在硅胶板上,由于硅胶板材质较软,不会在抛光的过程中与石英片硬性接触而导致其破裂,在抛光的时候,经过电动推杆的运行,其输出轴伸长经过支架带着密封板向下进行移动,且压在抛光箱的内部,使抛光工作在抛光箱的内部全程进行,产生的灰尘和碎屑不会飘浮在外侧的空气中,达到了吸尘效果好的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 吸尘 功能 石英 抛光 装置 | ||
【主权项】:
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