[实用新型]一种笔型压电陶瓷堆位移装置

摘要

本实用新型公开了一种笔型压电陶瓷堆位移装置，包括直管状的抗压筒、杆状或棍状的压电陶瓷堆栈、上边盖帽、下螺帽、受力螺母、受力螺母转接件和弹性件；压电陶瓷堆栈设在抗压筒中，上边盖帽设在抗压筒的顶部，下螺帽设在抗压筒的底部，受力螺母可伸缩的设在下螺帽中；受力螺母转接件和弹性件均设在抗压筒的内部，受力螺母转接件的上端与压电陶瓷堆栈的底部固定连接，受力螺母转接件的下端与受力螺母的输入端固定连接，弹性件的上端与受力螺母转接件的下端接触，弹性件的下端与下螺帽接触。本实用新型具有负载能力强，移位频率快，步进精确，可偏心承重，体积小巧等优点，可以满足配备有多个物镜且对物镜位移精度要求较高的电子显微镜的使用需求。