[实用新型]一种具有过滤功能的气流控制装置

摘要

本实用新型提供一种具有过滤功能的气流控制装置，包括对气体增压改变气体初始速度的压力控制装置、对气体流速进行调节的粗调装置和精确控制装置以及对气流进行净化防止堵塞微孔的过滤装置，所述粗调装置优选针阀，所述精确控制装置包括用于控制流速的微孔装置，所述微孔装置上开设有微孔，所述微孔通过密封圈密封。本实用新型通过粗调装置调节针阀开度实现调节气体流速，精确控制装置中的微孔对气体进行稳定，得到稳定的气流，使得测量以及调整气体流速更加便捷准确，且结构简单，使用方便，通过过滤装置对气体进行过滤，能够对气体中的杂质进行过滤，防止堵塞微孔而影响气体的流速以及流量。