[实用新型]一种半导体元器件制造用废气净化处理装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体元器件制造用废气净化处理装置，包括有二级过滤装置，二级过滤装置包括有过滤箱、安装在过滤箱内部带有通孔的四个挡板，四个挡板形成有三个填充层，过滤箱下端连通有一级过滤装置，一级过滤装置包括有溶液箱、竖向安装在溶液箱内部的若干加热棒，通过设置的溶液箱，通过加热棒通电，对内部溶液加热，此时在风机的作用下，使得过滤箱与溶液箱内部为负压，随后通过连接管下端靠近焊接点一侧，对焊渣以及废气进行吸附，加热棒对溶液加热有效的提高了废气的吸附效率，并通过溶液的过滤将较大颗粒的焊渣残留至溶液箱的内部，避免造成二级过滤装置短时间堵塞，提高使用效率，提高了净化效果。