[实用新型]一种镜片位姿调整装置有效
申请号: | 202121188694.8 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN214845961U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 韩森;王全召;庄松林;朱亦鸣;张博;贾文昕;张凌华;康岩辉 | 申请(专利权)人: | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G02B7/02 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 215164 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种镜片位姿调整装置,用于安装镜片并调节该镜片在X轴、Y轴以及Z轴方向的位置和姿势,其特征在于,包括:可以粗调镜片在Z轴上平移距离的Z轴平移粗调机构、可以微调镜片在Z轴上平移距离的Z轴平移微调机构、可以粗调粗调镜片在X轴上平移距离的X轴平移粗调机构、可以调整镜片绕Y轴旋转角度的Y轴旋转调节机构、可以微调镜片在X轴上平移距离的X轴平移微调机构、可以微调镜片在Y轴上平移距离的Y轴平移微调机构、可以调整镜片沿X轴和Y轴倾斜的倾斜调整机构、可以调整镜片绕Z轴旋转的Z轴旋转调节机构以及可以调整口径的夹紧装置。可以高效的调整待测镜片的位置和姿势,同时也能保证镜片位姿调整的精确度。 | ||
搜索关键词: | 一种 镜片 调整 装置 | ||
【主权项】:
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