[实用新型]一种加速腔体抽真空到工作压力装置有效
| 申请号： | 202121178316.1 | 申请日： | 2021-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN215762110U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 萧志斌;赖政志;林锦辉;许志宏 | 申请（专利权）人： | 苏州芯默科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/10;F04B39/12;F04B39/14;F04B51/00 |
| 代理公司： | 苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364 | 代理人： | 王铭陆;徐燕 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加速腔体抽真空到工作压力装置，包括放置产品的腔体、真空泵、真空计和排气阀门，所述腔体通过并联的抽真空单元依次连接真空计和真空泵，所述真空泵通过阀门组将腔体内的空气抽真空状态，所述真空计通过压力信号线进行信号控制，所述抽真空单元由真空管道和设置在真空管道上的排气阀门组成。通过上述方式，本实用新型能够缩短排气时间，大大地提高了生产效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加速 腔体抽 真空 工作压力 装置 | ||
【主权项】：
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