[实用新型]一种用于快速升温炉的承载盘结构

摘要

本实用新型公开了一种用于快速升温炉的承载盘结构，包括承载盘，所述承载盘上固定有第一阻挡板且所述第一阻挡板的右侧通过轴销转动设有第二阻挡板，所述第一阻挡板和第二阻挡板上分别安装有定位柱和插接组件所述插接组件与定位柱插接。本实用新型所述的一种用于快速升温炉的承载盘结构，设有第一阻挡板、第二阻挡板、定位柱和插接组件，通过形成的卡接腔对晶圆形成卡接，再通过定位柱和插接组件的配合将两组第一阻挡板、第二阻挡板在一起，从而将晶圆固定在卡接腔内，使得其无法在旋转时发生飘离现象，有利用晶圆的均匀地受热，由于离心力的作用，使得定位头有向外运动的局势，从而使得定位头与的定位柱插接得更加牢固。