[实用新型]一种多光束共焦三维轮廓检测系统有效
| 申请号: | 202121154939.5 | 申请日: | 2021-05-26 |
| 公开(公告)号: | CN214666659U | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
| 发明(设计)人: | 孔兵;徐冰;赵全忠 | 申请(专利权)人: | 南京萃智激光应用技术研究院有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
| 代理公司: | 南京华恒专利代理事务所(普通合伙) 32335 | 代理人: | 裴素艳 |
| 地址: | 210038 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开一种多光束共焦三维轮廓检测系统,包括光源分光结构、准直透镜和载物台,准直透镜处理后的平行光经偏振分光镜分光,一部分偏振光透过偏振分光镜损失掉,另一部分偏振光向下照射到针孔阵列,形成多个点光源,这些点光源再次经过检测透镜以及λ/4玻片,汇聚于检测透镜的焦平面;放置在载物台上的被测物的反射光经过λ/4玻片、检测透镜、针孔阵列、偏振分光镜以及成像透镜汇聚于摄像机的成像靶面;通过调整光源分光结构实现不同颜色的检测光源,从而实现Z轴方向的上下扫描。本发明不需要额外的Z轴扫描机构就可以实现实现整个物体的三维轮廓信息测量,且精度高。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 光束 三维 轮廓 检测 系统 | ||
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