[实用新型]一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置有效

专利信息
申请号: 202121110683.8 申请日: 2021-05-24
公开(公告)号: CN214953026U 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 黄一槐;李宜原;逯鑫淼;张辉朝;张钰 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: G01N21/39 分类号: G01N21/39;G01N21/01
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 杨舟涛
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置。采用单光路吸收峰解调方法设计检测装置,包括信号发生器、激光驱动器、可调谐半导体激光器、光束耦合器、光学球形腔、光电探测器、锁相放大器以及上位机。由激光器发出的经调制后的激光经光束耦合器耦合进光学球形腔内,在腔内经过多次反射被被测气体吸收,提高激光光程/腔体尺寸比值,由光束耦合器引出至光电探测器,转为电信号,经锁相放大器提取后由上机位反演出气体浓度并保存。克服了两光电探测器的失配问题导致的吸收峰信号发生畸变,提高检测结果的精确度。本实用新型具备高灵敏度、高分辨率、多组分气体同时实时连续在线检测的优势,能广泛应用于公共环境、医疗等领域。
搜索关键词: 一种 基于 增强 单光路 痕量 气体 在线 检测 装置
【主权项】:
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