[实用新型]一种大量程的光谱共焦位移检测装置

摘要

本实用新型提供一种大量程的光谱共焦位移检测装置，包括白光光源、狭缝、准直透镜、分光棱镜、菲涅尔透镜、被测物、聚焦透镜、光谱仪，其中：白光光源出射一束白光，通过狭缝和准直透镜进入分光棱镜，并在经过菲涅尔透镜后沿光轴方向色散，不同波长的光会聚于光轴不同位置，聚焦在被测物表面上的光束发生反射并原路返回，经过分光棱镜和聚焦透镜，入射狭缝后的光谱仪内。光谱仪接收两个由共焦特性选择出来的特定波长，并由特定波长解得对应焦距差值，即为被测物位移距离。本装置利用菲涅尔透镜将不同波长的光束聚焦在光轴不同位置，从而产生轴向色散，并极大增加了光源波长对应的焦点之间的极限距离，从而将位移检测装置的量程扩大两个数量级。