[实用新型]一种用于分子束外延设备中的带重量监测的磷源炉有效
| 申请号： | 202121011823.6 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN215209693U | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 郭帅;冯巍;杜全钢;谢小刚 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B25/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215151 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于分子束外延设备中的带重量监测的磷源炉，涉及半导体制造技术领域。该磷源炉包括蒸发炉和冷却炉，蒸发炉包括法兰盖、坩埚及加热丝；冷却炉包括第二壳体和第三壳体，第二壳体套设于第一壳体外部，第三壳体套设于第二壳体外部；第二壳体的顶部通过波纹管与法兰盖连接，第二壳体的底面通过波纹管与法兰连接，在底面与第三壳体之间设置压力传感器，传感器与处理器通信连接，处理器根据来自传感器的数据计算第二壳体的重量。通过能够伸缩的波纹管将第二壳体的两端分别连接至法兰盖和法兰，从而使第二壳体能够沿垂直于底面的方向移动，从而可以通过压力传感器来感测第二壳体的实时重量，实现对磷源炉中白磷重量的实时监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 分子 外延 设备 中的 重量 监测 磷源炉 | ||
【主权项】：
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