[实用新型]一种异质结电池出片装置

摘要

本实用新型实际一种异质结电池出片装置，包括出片腔室下腔体（5），其上面设有传输辊道（4），出片腔室下腔体（5）的上方设有与其密封配合的出片腔室盖板（2），其特征在于：出片腔室盖板（2）上面设有一组对出片腔室与大气进行关闭或联通的盖板破空装置（1）。出片腔室盖板2）下面连有对进入出片腔室气体进行缓冲的气流缓冲装置（3）。本实用新型出片室腔体结构，避免电池基片在离开出片腔室前因回气气流冲击而导致硅片破损情况，达到了保证异质结电池生产过程稳定可靠的目的。相比现有异质结电池生产线，并未增加任何设备制造成本。