[实用新型]可在线清洁的载板

摘要

本实用新型涉及一种可在线清洁的载板，它包括主载板和嵌设于主载板上的子载板；所述主载板上设有若干个用于容置子载板的子载板凹槽；所述子载板设有一个以上用于承载基片的基片凹槽，所述基片凹槽底面的中部镂空；所述主载板包括主要由碳纤维复合材料制成的主体以及包覆在主体外且主要由类金刚石膜或复合陶瓷膜制成的保护膜；所述子载板主要由铝合金制成。本实用新型的目的在于提供一种可在线清洁的载板，既能在腔室进行在线清洁，延长生产时间，提高设备利用率，且保证载板长期运行不容易变形，又能在保养后快速恢复膜层质量。