[实用新型]衍射光学元件及激光加工装置有效
| 申请号： | 202120899090.8 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN214846082U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 冯坤亮;张志圣;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 江西欧迈斯微电子有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/42 | 分类号： | G02B27/42;G02B27/48;B23K26/064 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 张捷美 |
| 地址： | 330096 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种衍射光学元件及激光加工装置，衍射光学元件包括多个衍射单元，多个衍射单元呈阵列排布；衍射单元包括基底、第一衍射结构以及第二衍射结构，基底具有第一表面；第一衍射结构设于第一表面；第二衍射结构设于第一表面，第一衍射结构与第二衍射结构不相同，且第二衍射结构与第一衍射结构间隔设置。本申请能够很好地将经过衍射光学元件的光线分解为具有一定间隔的散斑序列，分光效果好。并且，第一衍射结构与第二衍射结构的尺寸不相同，两者配合作用能够对分光过程中出现的高阶散斑进行抑制，进一步提升了分光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
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