[实用新型]一种复合振动磁场辅助光整加工装置

摘要

本实用新型涉及磁场辅助光整加工技术，特别提供了一种复合振动磁场辅助光整加工装置。所述装置包括旋转轴、超声辅助装置、上端磁体、光整主体装置和三轴精密位移平台，所述光整主体装置包括光整介质池、壳体、超声空化单元、导向固定单元、低频振动单元以及光整介质循环控制系统，所述低频振动单元包括下端磁体、铁芯和电磁线圈，电磁线圈通入交变电流后，铁芯的顶端实现N级与S级的交替，往复吸引与排斥下端磁体，进而实现光整介质池的轴向低频振动，同时提供了交变磁场，结合超声辅助装置的高频振动，达到光整加工区域的复合振动，联合超声辅助装置旋转、超声空化效果以及进给运动，实现高效高质光整加工。