[实用新型]检测设备有效

专利信息
申请号: 202120853099.5 申请日: 2021-04-23
公开(公告)号: CN214667239U 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 王松 申请(专利权)人: 江西欧迈斯微电子有限公司
主分类号: G01H9/00 分类号: G01H9/00;G01B11/02
代理公司: 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 代理人: 朱鸿雁
地址: 330096 江西省南昌市*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种检测设备,检测设备包括:基台;支撑台,支撑台设置于基台,支撑台远离基台的一侧设置有用于支撑待检测件的支撑面;压力传感机构,压力传感机构设置于基台,压力传感机构用于向位于支撑面上的待检测件施加压力,以使待检测件在支撑面沿平行支撑面的第一方向振动;光电传感机构,光电传感机构设置于支撑台,光电传感机构包括发射器和接收器,沿垂直支撑面的第二方向,发射器和接收器对应位于支撑面的相对两侧,以在压力传感机构向待检测件施加力时,发射器和接收器检测待检测件的振动位移量。该检测设备设置有光电传感机构,可以在待检测件发生水平面振动时依据光电传感机构所接收的光通量的变化实现对振幅的检测。
搜索关键词: 检测 设备
【主权项】:
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