[实用新型]一种靶材组件的改进结构有效
| 申请号： | 202120836959.4 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN214694352U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜;杨广 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种靶材组件的改进结构，所述改进结构包括焊接固定的靶材和背板，所述靶材的厚度相比改进前靶材的厚度增加30～60％，所述靶材的侧面形成倒角，靶材溅射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸，所述靶材溅射面的边缘区域和靠近溅射面一侧的部分侧面区域设有滚花。本实用新型通过增加靶材厚度，有效提高靶材的使用寿命，提高生产效率；通过将靶材的侧面调整为倒角结构，在靶材溅射面及侧面的边缘设置滚花，增加靶材边缘的附着表面积及反溅射物质粘附力，降低反溅射层的厚度，有效防止反溅射物质剥落而影响镀膜产品的均匀性；所述靶材组件的改进结构简单，效果明显，操作成本较低，应用前景广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 改进 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120836959.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
