[实用新型]一种扩散氧化用石英炉管有效
| 申请号： | 202120818216.4 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN214666015U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王仁书;薛新兵 | 申请（专利权）人： | 扬州晶新微电子有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H01L21/31;H01L21/22 |
| 代理公司： | 南京源点知识产权代理有限公司 32545 | 代理人： | 潘云峰 |
| 地址： | 225000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体器件芯片制造技术领域内的一种扩散氧化用石英炉管，包括：石英管体，石英管体上开设有通氧口；载片石英舟，载片石英舟设置于石英管体内，载片石英舟用以承载硅片；输气管道，输气管道插入石英管内且朝向载片石英舟方向延伸，输气管道出气方向朝与进气方向相反的方向设置，且输气管道出气方向与进气方向之间形成小于90°的夹角。该扩散氧化用石英炉管改变了输气管道喷气方向，使得氢氧焰远离载片石英舟，有效地减少了氢氧火焰对恒温区的干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 氧化 石英 炉管 | ||
【主权项】：
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