[实用新型]一种电子束辐照气氛调节装置有效
| 申请号： | 202120809292.9 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN214953150U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张玉宝;刘海;蒋继成;姚钢 | 申请（专利权）人： | 黑龙江省科学院技术物理研究所;哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 李红媛 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种电子束辐照气氛调节装置，涉及一种电子束辐照装置。本实用新型是要解决现有的电子束辐照条件下不同辐照气氛调节不便利的技术问题。本实用新型采用双进气口模式解决不同气体置换与混合问题；为了减少置换气体死角问题，采用圆锥形流体设计，锥形盖与一端为圆锥形的罐体通过法兰连接，采用橡胶密封，以便于放置样品；为了解决电子元器件原位测试问题，在罐体的下方设置真空密封插座接线端子接口法兰与真空密封插座接线端子连接，在元器件与测试设备之间架起连接通路。本实用新型的装置可以实现两种气体混合置换空气的功能，并实现材料和电子器件在不同气氛下电子束辐照效应研究，本装置设有性能测试接口，可实现电子器件的原位性能测试功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 辐照 气氛 调节 装置 | ||
【主权项】：
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