[实用新型]一种单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装有效
| 申请号: | 202120789193.9 | 申请日: | 2021-04-16 |
| 公开(公告)号: | CN214612843U | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
| 发明(设计)人: | 郑伟扬;李莎 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
| 地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装,包括固定杆以及位于固定杆上沿纵向依次设置的一组固定环,所述固定环的内衬均为石墨材质,各固定环远离固定杆的一侧均开有能够让籽晶通过的缺口;最底部的一个固定环内衬为与石墨夹头底部适配的中空锥形,用于承接石墨夹头;上方的固定环依次用于固定石墨夹头和重锤。该工装采用一组固定环实现石墨夹头与重锤的放置需求,提高生产效率,通过固定环的缺口方便放取过程中籽晶的通过,采用石墨内衬环包裹不锈钢环套的方式,避免在放取过程中接触造成的污染。该放置工装整体结构简单,操作方便,可实现单个炉台单独配置避免混用、磕碰、污染等异常的发生同时可提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉用 重锤 石墨 夹头 放置 工装 | ||
【主权项】:
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