[实用新型]一种光罩检测装置有效
| 申请号： | 202120772017.4 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN214749830U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请（专利权）人： | 艾斯尔光电（南通）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种光罩检测装置，包括移动平台，移动平台底部安装万向轮组件，移动平台上安装光罩载台，光罩载台上端面开设放置槽，放置槽内放置待检测光罩，移动平台上安装伺服电机，伺服电机的电机轴与转轴一端连接，转轴另一端连接光罩载台底端面中心，移动平台上方还安装检测组件，本实用新型结构设计新颖，能够实现对光罩的快速检测，检测效率高，检测成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾斯尔光电（南通）有限公司，未经艾斯尔光电（南通）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120772017.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光罩静电包装机构
- 下一篇：一种安全高效的硅橡胶生产装置
