[实用新型]一种用于碳化硅长晶炉的可调节测温装置有效
| 申请号： | 202120730140.X | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN214529317U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙) 23210 | 代理人： | 王艳萍 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种用于碳化硅长晶炉的可调节测温装置，它涉及测温装置。它是要解决现有的红外测温仪监控PVT法生长碳化硅单晶过程的温度时，固定调整时费时费力、不能改变测温点、测量误差大的技术问题，本实用新型的可调节测温装置包括底座、电动旋转装置、连接支架、转向杆、转向电机和红外测温仪；其中电动旋转装置固定在底座上；连接支架固定在电动旋转装置上，连接支架为两支空心管，连接支架可随电动旋转装置旋转；转向杆的一端连接转向电机，转向电机设在连接支架的一支空心管中，转向杆的另一端穿入连接支架的另一支空心管中，转向杆可由转向电机控制转动；红外测温仪固定在转向杆中央。该装置的测量点可在石墨坩埚盖上任意调整，用于测温领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 长晶炉 调节 测温 装置 | ||
【主权项】：
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