[实用新型]组装式海绵刷

摘要

一种组装式海绵刷，其包括一不吸水的塑性材质的载体、数个发泡材质且嵌设于该载体的每一沟槽中的海绵条、二对应套设于该载体且分别结合于其两端底座上的圆环形固定件、以及一包含数个触面海绵与数个喷嘴分别混合设于各该海绵条模孔上的清洁单元所构成。藉此，当各该触面清洁海绵（指状式或方柱式）接触晶圆时，一开始接触的是面，使接触面积大且受力均匀，除PVA触面清洁海绵提供刷洗同时提供出水，其余非海绵部分皆不提供出水，可集中出水位置于各该触面清洁海绵，以利提升清洁晶圆效果，不会因海绵的软硬影响其接触面积，造成清洁效果下降。