[实用新型]蓝宝石晶片晶界不良检测装置有效
申请号: | 202120695227.8 | 申请日: | 2021-04-07 |
公开(公告)号: | CN213121669U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 吴搏;吕晓云 | 申请(专利权)人: | 中科慧远视觉技术(北京)有限公司;中科慧远视觉技术(洛阳)有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100088 北京市海淀区中*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蓝宝石晶片晶界不良检测装置,包括:光源模块、图像采集模块和光线处理模块,所述光线处理模块包括线性起偏器、光学滤镜,所述线性起偏器安装在所述光源模块上,用于使所述光源模块发出的光变成偏振光;所述图像采集模块包括镜头和相机,用于采集待测蓝宝石晶片的图像;所述光源模块置于所述待测蓝宝石晶片下。本实用新型检测装置解决了蓝宝石晶片晶界不良的成像问题;检测装置集成性好,结构简单;检测装置不受机器视觉光源亮度的限制,更有通用性;便于装配和调试,易于检测。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 晶片 不良 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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