[实用新型]一种MEMS发声单体和MEMS扬声器有效
| 申请号： | 202120649534.2 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214544778U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 周一苇;程诗阳;但强;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/02 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 孙凯乐 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS发声单体和MEMS扬声器，MEMS发声单体包括衬底和驱动器，所述衬底具有相对设置的顶壁和底壁、贯穿所述顶壁与所述底壁的空腔；所述驱动器置于所述衬底上并覆盖所述空腔，所述驱动器具有相叠设的电极层和压电层，所述电极层至少包括沿所述空腔的中心轴线依次堆叠的第一电极层、第二电极层以及第三电极层，所述压电层至少包括夹设在所述第一电极层与所述第二电极层之间的第一压电层和夹设在所述第二电极层与所述第三电极层之间的第二压电层。运用本技术方案解决了现有技术中MEMS扬声器能量转换效率低以及无法同时兼顾高频段声学性能和低频段的声学性能的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 发声 单体 扬声器 | ||
【主权项】：
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