[实用新型]一种等离子处理单槽台车的导向定位机构

摘要

本实用新型公开了一种等离子处理单槽台车的导向定位机构，在转接板的底部两侧设有导轮，对应车架的两侧设有滚珠滑轨，使导轮沿滚珠滑轨方向滑动得第一伸缩气缸；转接板的两侧设有定位销孔，对应车架的两侧设有横移定位销，横移定位销的另一端均设有推动横移定位销卡入定位销孔的第二伸缩气缸，横移定位销卡入定位销孔后限制单槽台车沿滚珠滑轨方向滑动。通过改善台车的内部结构，为等离子处理系统上下基板实现自动化提供支持，该导向定位机构能够进一步提升台车自动化输送基板的稳定性和准确性，解决现有的等离子处理系统在基板输送自动化程度低的问题，提高了等离子处理系统的整体效率，降低基板在输送过程中导致的人为操作损坏问题。