[实用新型]超声波飞行时间传感器有效
| 申请号： | 202120551327.3 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN214766704U | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 梁骥 | 申请（专利权）人： | 上海思立微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种超声波飞行时间传感器，包括空腔、弹性膜及激励层，所述空腔包括贯穿半导体衬底的洞体和与所述洞体衔接并嵌于所述半导体衬底表面的洞檐，所述弹性膜覆盖所述空腔，所述激励层设置于所述弹性膜的表面，所述激励层包括第一电极层和第二电极层以及设置于所述第一电极层和所述第二电极层之间的压电层；所述激励层接收外界激励信号带动所述弹性膜产生预设频率的机械振动而向空气中传播超声波信号。本实用新型提供的超声波飞行时间传感器中空腔包括贯穿半导体衬底的洞体和内嵌于半导体衬底表面的洞檐，避免刻蚀半导体衬底形成空腔时，空腔与弹性膜的边缘不规则导致的空腔尺寸的不准确性，进而保证了器件的谐振频率的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 飞行 时间 传感器 | ||
【主权项】：
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