[实用新型]一种真空退火装置有效
| 申请号： | 202120505138.2 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN214458201U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 杭州纤纳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C21D9/00 | 分类号： | C21D9/00;C21D1/26;C21D1/773 |
| 代理公司： | 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 | 代理人： | 杨文华 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空退火装置，包括箱体，在箱体上设置真空管，在箱体内设置红外平行加热器、载物台和加热器支架，红外平行加热器安装在加热器支架上，载物台设置在红外平行加热器的正下方，载物台用于放置待退火基片，在加热器支架上设置用于调整红外平行加热器与载物台之间高度的调整装置；红外平行加热器包括红外灯管、凹面聚光镜和灯箱体，红外灯管和凹面聚光镜分别固定在灯箱体上，灯箱体固定在加热器支架上，红外灯管设置在凹面聚光镜的凹面焦距点处。本实用新型通过快速升温和高真空来短时间内带走溶剂，减短后处理时间和提高退火处理的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 退火 装置 | ||
【主权项】：
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