[实用新型]一种载具修整装置和系统有效
| 申请号： | 202120473652.2 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN214445578U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 邵燕麓;张洁;陈文鹏 | 申请（专利权）人： | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B41/06;B24B53/095;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 冯洁 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶体加工技术领域，具体而言，涉及一种载具修整装置和系统。一种载具修整装置，包括工作台、装夹组件、顶升组件以及修整组件；装夹组件及顶升组件均与工作台可活动地连接，装夹组件用于夹紧位于工作台上的载具，顶升组件用于顶升位于工作台上的载具；修整组件用于相对于工作台运动，以修整被装夹组件夹紧的载具的载具。该载具修整装置能够对载具被抛光液腐蚀的底部进行修整，从而使得载具能够正常使用，进而能够有效延长载具的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 修整 装置 系统 | ||
【主权项】：
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