[实用新型]一种LDI单波长激光紫外直写镜头照明结构有效
| 申请号： | 202120431610.2 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN215181398U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 陈铭勇;向先兵 | 申请（专利权）人： | 深圳市灿锐科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市凯博企服专利代理事务所(特殊普通合伙) 44482 | 代理人： | 李绍飞 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LDI单波长激光紫外直写镜头照明结构，包括激光光源、光棒、镜头、反射镜、DMD、物方光学组件和样板，所述物方光学组件包含顶偏心模块、光阑和像方光学组件，激光光源发出的光经过光棒后，通过一个放大的镜头将照明面积放大后被反射镜发射后到达DMD，经DMD反射的光进入物方光学组件中依次经过顶偏心模块、光阑和像方光学组件，最终将图像投影到被刻蚀的样板上。本实用新型提高精细线路的精度和合格率，避免了重复缺陷，同时还降低了生产成本，提高了效率，满足PCB大面积和高产能的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ldi 波长 激光 紫外 镜头 照明 结构 | ||
【主权项】：
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