[实用新型]一种循环水控温装置有效
| 申请号： | 202120383318.8 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN214067673U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 程晋文;陈家宏 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种循环水控温装置，包括水槽、上水泵、循环水管路和辅助结构，所述循环水管路包括供水管、温控管和回水管，所述供水管和所述回水管的一端均与所述水槽连通，所述供水管和所述回水管的另一端分别与所述温控管的两端连通，形成循环水回路，所述温控管用于调控需控温管路的温度，所述上水泵设置在所述供水管上，用于为上水提供动力，所述辅助结构设置在所述回水管上，用于为回水提供动力。在实际应用中，所述辅助结构提供动力向下抽水，使水流速度增加，从而使水流对循环水管路的管壁的压强减小，循环水管路的管壁损耗减弱，老化变形速度延缓，使用寿命延长，避免循环水管路皲裂液体漏出对半导体产品产生离子污染，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 循环 水控温 装置 | ||
【主权项】：
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