[实用新型]一种高度集成的太阳能电池片槽式清洗制绒设备有效
| 申请号： | 202120327443.7 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN214848505U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 上官泉元 | 申请（专利权）人： | 常州比太黑硅科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 吴倩 |
| 地址： | 213164 江苏省常州市武进高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高度集成的太阳能电池片槽式清洗制绒设备，包括按硅片流转方向依次设置的插片机、满花篮传递装置、清洗制绒机、空花篮回传线；插片机设置在清洗制绒机的上料端前端；满花篮传递装设置放置在插片机与上料端之间；清洗制绒机的机械手将满载花篮依次传输到各功能槽完成硅片的化学处理并烘干，空花篮回传线将硅片传给下一道工艺设备后留下的空花篮回传到插片机。本实用新型通过将插片机、满花篮传递装置、清洗制绒机以及空花篮回传系统集成在一台设备中，由此实现清洗制绒的自动化生产并实现花篮的全自动化循环流转，在降低设备成本的同时，有效提高了生产效率和制程良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高度 集成 太阳能电池 片槽式 清洗 设备 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
