[实用新型]一种晶体炉排气泄压保护机构有效
| 申请号： | 202120300432.X | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN215294108U | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 郑建生;吴明森;方筱燕;邵治宇 | 申请（专利权）人： | 合肥露笑半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | F16L55/07 | 分类号： | F16L55/07;F16L53/75;C30B29/06;C30B28/06;C01B33/021 |
| 代理公司： | 杭州仁杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 33297 | 代理人： | 郑新军 |
| 地址： | 231131 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及晶体炉技术领域，一种晶体炉排气泄压保护机构，设置在晶体炉的外部，包括排气管、泄压管、高真空电磁泄压阀，排气管的前端与晶体炉连接，泄压管与排气管的后端连接，高真空电磁泄压阀设置在泄压管上，泄压管上并联有泄压支管，泄压支管上设有高真空气动隔膜阀，高真空气动隔膜阀通电时处于常闭状态、断电时处于常开状态，泄压支管上位于高真空气动隔膜阀的后端设有机械式泄压阀。本实用新型在断电情况下也能正常泄压、使用更加安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 排气 保护 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥露笑半导体材料有限公司，未经合肥露笑半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120300432.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种炉盖开启阻尼调节机构
- 下一篇：一种园林区域的地下室顶板排水系统
