[实用新型]一种导模法生长氧化镓晶体的热场结构及生长装置有效
| 申请号： | 202120297014.X | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN215976139U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 齐红基;赛青林 | 申请（专利权）人： | 杭州富加镓业科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B15/34 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 刘芙蓉 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种导模法生长氧化镓晶体的热场结构及生长装置。所述热场结构用于保温形成热场，所述热场结构由至少一层保温层层叠而成，所述保温层由若干块子保温层拼接而成，所述若干块为两块以上的自然数；所述热场结构的中心沿轴向方向设置有贯穿上下端面的通孔。本实用新型热场结构在高度上采用分层式堆叠，可以有效释放高温下的热应力，解决热场结构不受控开裂的问题。且所述保温层由若干块子保温层拼接而成，其采用拼接的方式，可以进一步释放高温下的热应力，有效避免热场结构不受控开裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导模法 生长 氧化 晶体 结构 装置 | ||
【主权项】：
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