[实用新型]一种用于特殊气体超高流量输送的设备有效
| 申请号： | 202120268808.3 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN214369272U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 甘万;杨欣;江福荣 | 申请（专利权）人： | 上海盛韬半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C7/00;F17C13/00;F17C13/04;F17D1/04;F17D3/01;F17D5/06;G01M3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于特殊气体超高流量输送的设备，包括：主柜体、工艺气体供应单元、吹扫单元、排放单元、深度吹扫箱、控制显示操作单元和报警单元，工艺气体供应单元、吹扫单元和排放单元设置于主柜体内部，深度吹扫箱和控制显示操作单元与主柜体外部连接，报警单元与主柜体连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、缓冲套管、支路隔离阀、支路气动隔离阀、加热模块、过流量开关、调压阀、过滤器、第一气动隔离阀、手动隔离阀、出口隔离阀和第一压力传感器。本实用新型与传统技术相比，通过设计增设工艺气体供应单元，实现切换供应和换瓶流程，通过程式控制气动阀自己完成工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 特殊 气体 超高 流量 输送 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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