[实用新型]一种晶圆清洗装置清洗工位挡板机构有效
| 申请号： | 202120266457.2 | 申请日： | 2021-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN214600921U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;周兴江 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆清洗装置清洗工位挡板机构，密封安装体形成密闭空间，升降板在密封安装体内升降起到隔离外部气体的作用，升降板在底端时，升降板顶部的集水板能够收集从上方滴落或者凝结的水，以使水能够被收集。升降板在顶端时，升降板起到阻挡水汽从一个工位到另一个工位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 挡板 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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