[实用新型]一种膜厚测量装置有效
申请号: | 202120258436.6 | 申请日: | 2021-01-29 |
公开(公告)号: | CN214407347U | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 冯宗宝 | 申请(专利权)人: | 冯宗宝 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 黄丽莉 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种膜厚测量装置,包括:承载平台、固定装置、测量单元、通讯导线及后处理单元;其中承载平台用于承载膜厚待测样片;固定装置设有多个呈阵列式分布的测量孔;测量单元包括测量探头;后处理单元用以分析处理来自测量单元的信号并输出测量结果。本实用新型在测量单元中引入测量探头,且测量探头采用阵列式分布模式,对膜厚待测样片一次性进行多点厚度测量,综合各点测量数据,从而准确高效完成大面积薄膜涂布膜层的厚度表征,并可在特殊环境中对具有特殊要求的膜层进行膜厚测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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