[实用新型]一种上电极设备和等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202120204985.5 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN214705850U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 周颖;李明 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 邵磊;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种上电极设备和等离子体处理装置，所述上电极设备应用于等离子体处理装置中，所述上电极设备用于对反应气体进行加压，以将所述反应气体激发成等离子态并作用于待处理晶圆上；所述上电极设备包括：相对设置的基板和上电极板；其中，所述上电极板包括：第一部分和围绕所述第一部分的第二部分，所述第一部分为所述上电极板的中心部分；所述第二部分包括多个同心圆环子部；所述第一部分和所述多个同心圆环子部与所述待处理晶圆之间的距离可调。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 设备 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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