[实用新型]一种晶圆表面瑕疵检测系统有效
| 申请号： | 202120164536.2 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN214201237U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张家政;胡昌显;吴少芳 | 申请（专利权）人： | 厦门市奥正智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市湖里*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆表面瑕疵检测系统，包括底座，机架，X轴滑台，Y轴滑台，履带，载物台，光谱共焦传感器，Z轴滑台，显微镜系统，控制电路；所述显微镜系统包括物镜，显微镜本体；所述显微镜系统固定于第三滑块；所述物镜固定于第三滑块的固定块且正对晶圆上方；所述光谱共焦传感器固定于第三滑块的固定块且正对晶圆上方；所述光谱共焦传感器位于物镜正前方。由于本实用新型采用光谱共焦传感器高速高精度实时测距，测距时间短；显微镜系统通过光谱共焦传感器和控制电路的配合实现自动高速高精度对焦，可以保证实时图像的清晰度，实现晶圆表面瑕疵的准确判定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 瑕疵 检测 系统 | ||
【主权项】：
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