[实用新型]一种更换制程材料的防呆装置及防呆系统有效
| 申请号： | 202120139540.3 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214409579U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 秦典昇;李林 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 朱艳 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种更换制程材料的防呆装置及防呆系统，该防呆装置包括管路固定器，固定在机台的管路端口位置处；旋转接头，旋转设置在所述管路固定器的底部，所述旋转接头的位置与所述料瓶的顶部位置相对应；防呆驱动机构，设置在所述旋转接头上，所述防呆驱动机构具有伸出位和缩回位，当所述防呆驱动机构处于伸出位时，所述防呆驱动机构与所述料瓶相配合卡紧；当所述防呆驱动机构处于缩回位时，所述防呆驱动机构与所述料瓶相互分离。本实用新型实现了制程材料更换的系统化自动防呆，减少了人工作业干预，提高了制程材料的更换作业质量，其不仅更换流程更安全，避免了产品发生异常及报废，而且减少了人员作业时间，提升作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 更换 材料 装置 系统 | ||
【主权项】：
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