[实用新型]一种用于硅片泡酸分割的恒温系统有效
| 申请号： | 202120138165.0 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214172546U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 许玉雷 | 申请（专利权）人： | 济南晶博电子有限公司 |
| 主分类号： | F24H1/20 | 分类号： | F24H1/20;F24H9/18;F24H9/20;F24H9/12;F24H9/00 |
| 代理公司： | 济南领升专利代理事务所(普通合伙) 37246 | 代理人： | 王吉勇 |
| 地址： | 250200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，涉及硅片加工技术领域，包括酸槽、恒温水箱、热水泵和热水套，热水套围绕酸槽一周，热水套的一端与进水管道连通，另一端与出水管道连通，出水管道的另一端与恒温水箱连通，进水管道的另一端与热水泵的出水口连通，恒温水箱通过管道与热水泵的进水口连通，恒温水箱内设有电加热装置和温度传感器。本实用新型通过在酸槽外面设置热水套，热水套内循环流通有热水，恒温水箱内的热水由控制器控制，低于某温度值时开启加热装置进行加热，达到该温度值后，自动断电，节约了能源，减少了人工，大大降低了成本，同时，酸液一直保持恒定的温度，大大的提高了硅片分割的良率，提高了硅片分割的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 分割 恒温 系统 | ||
【主权项】：
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