[实用新型]一种支撑装置有效
申请号: | 202120118226.7 | 申请日: | 2021-01-15 |
公开(公告)号: | CN214467561U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 林宜龙;刘飞;吴海裕;唐召来 | 申请(专利权)人: | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
主分类号: | F16M11/28 | 分类号: | F16M11/28;F16M11/04 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;郝传鑫 |
地址: | 518118 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及机械设备技术领域,公开了一种支撑装置,包括支撑座、旋转轴和支撑平台,所述旋转轴与所述支撑座螺纹连接,所述支撑平台设于所述旋转轴的顶端,将所述旋转轴的转动转化为所述支撑平台的升降运动,由此实现高度方向的调节,所述支撑座设有用于测量所述旋转轴的升降高度的刻度尺,通过所述刻度尺能初步确定支撑平台的升降高度,所述旋转轴沿其周向设有刻度环,因为所述旋转轴旋转一圈会稳定地升降相同高度,通过读取所述刻度环的转动刻度,能换算为对应的升降高度,进一步确定支撑平台的升降高度,即通过所述刻度尺的读数以及所述刻度环的读数之间的换算结合,能高精度地检测出所述支撑平台的升降高度。 | ||
搜索关键词: | 一种 支撑 装置 | ||
【主权项】:
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