[实用新型]一种双天线增强线形微波等离子体源有效
| 申请号： | 202120063819.8 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN214125595U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 周继承;徐伟;黄静;廖佳;冯天舒 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 王颖 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种双天线增强线形微波等离子体源，包括屏蔽罩，载板，微波电源和与微波电源相连通的T型功率分配器；屏蔽罩为梯形结构，且屏蔽罩不设底板；载板设置于屏蔽罩正下方；T型功率分配器另两端分别与一微波天线连通，且两微波天线位于同侧；T型功率分配器与微波天线设置于屏蔽罩内腔中部；屏蔽罩上还设置有磁铁组件和进气管组。本实用新型在现有线形微波等离子体源的基础上通过引进双天线结构，以及相应的对进气管路、磁场结构进行改进，有效的增大线形微波等离子体源产生等离子体的横向面积，从而最终达到减少微波电源的数量的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 天线 增强 线形 微波 等离子体 | ||
【主权项】：
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